研究設備
(研究室の主な装置)
・ 酸化物薄膜作製用４源スパッタ装置
・ 角型３源スパッタ装置
・ ECRスパッタ装置
・ 高真空３源スパッタ装置
・ イオンビームスパッタ装置
・ 分子線エピタキシー装置
・ マイクロ波プラズマCVD装置
・ アンテナ給電式マイクロ波プラズマCVD装置
・ 電極作製用３源スパッタ装置
・ ECRエッチング装置
・ X線回折装置（２軸、４軸）
・ 磁場下電気抵抗測定装置
・ 光電子分光（XPS, UPS）装置
・ カー効果測定装置
・ 試料振動型磁力計（VSM）
・ SQUID磁束計
・ 高温下電気特性評価装置
・ 各種電気炉
他に下記の様な共同利用装置を利用しています
名古屋大学ベンチャービジネスラボラトリー(VBL)
・フォト（EB）リゾグラフィー装置
・原子間力顕微鏡
・走査型電子顕微鏡
・EB蒸着装置 （等の多数の装置を利用）
名古屋大学先端技術共同研究センター
・電界放射型分析電子顕微鏡
・EBリゾグラフィー装置
名古屋大学エコトピア科学研究所
・X線光電子分光装置
・赤外分光測定装置