研究設備

(研究室の主な装置)

 ・ 酸化物薄膜作製用4源スパッタ装置
 ・ 角型3源スパッタ装置
 ・ ECRスパッタ装置
 ・ 高真空3源スパッタ装置
 ・ イオンビームスパッタ装置
 ・ 高真空スパッタ-MBE装置
 ・ マイクロ波プラズマCVD装置
 ・ アンテナ給電式マイクロ波プラズマCVD装置
 ・ 電極作製用3源スパッタ装置
 ・ ECRエッチング装置

 ・ X線回折装置(2軸、4軸)
 ・ 磁場下電気抵抗測定装置
 ・ 光電子分光(XPS, UPS)装置
 ・ カー効果測定装置
 ・ 試料振動型磁力計(VSM)
 ・ 高温下電気特性評価装置
 ・ 各種電気炉


 
他に下記の様な共同利用装置を利用しています

 名古屋大学ベンチャービジネスラボラトリー(VBL)
  ・フォト(EB)リゾグラフィー装置
  ・原子間力顕微鏡
  ・走査型電子顕微鏡
  ・EB蒸着装置    
(等の多数の装置を利用)


 名古屋大学先端技術共同研究センター
  ・電界放射型分析電子顕微鏡
  ・反応性イオンエッチング装置


 名古屋大学エコトピア科学研究所
  ・X線光電子分光装置
  ・赤外分光測定装置



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